錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)探針臺(tái)配備4個(gè)（可選6個(gè)或8個(gè)）擁有高精度位移的探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào)，用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

測(cè)試范圍：

磁特性測(cè)試、微波特性測(cè)試、直流、RF特性測(cè)試，微電子機(jī)械系統(tǒng)，超導(dǎo)電性測(cè)試，納米電路的光電屬性，量子點(diǎn)和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。

可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝置

t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)

t 超高溫升級(jí)選件

t 超高真空升級(jí)選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉(zhuǎn)接頭

t 靜音真空泵