實(shí)驗(yàn)室高低溫真空探針臺(tái)的技術(shù)參數(shù)可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試（4.2K~500K），可升級(jí)加載磁場(chǎng)，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測(cè)溫裝置，支持光纖光譜特性測(cè)試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)，器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz)，探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試，自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測(cè)試等。
您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”，就能看到我們的企業(yè)店鋪，聯(lián)系更加方便快速！
應(yīng)用范圍：
錦正茂高低溫真空探針臺(tái)高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。
可選附件：
t 防震桌
t 多級(jí)壓縮制冷機(jī)
t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
型號(hào)
T81-50探針臺(tái)
T80-50探針臺(tái)
制冷方式
液氦/液氮制冷
閉循環(huán)制冷機(jī)
腔體材質(zhì)
無磁不銹鋼或者鋁合金
真空度
真空上等高達(dá)10-8Pa
真空腔觀察窗尺寸
2inch（可選）
控溫范圍
4.2K-450K
5K-450K
控溫分辨率
0.001K控溫儀相關(guān)
溫度穩(wěn)定性
0.1K控溫儀相關(guān)
降溫時(shí)間
40min
150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定
溫度傳感器
硅二極管、PT100（3個(gè)，樣品臺(tái)和探針臂和防輻射屏上各一個(gè)）
加熱電源
LVDC 低壓直流
樣品臺(tái)材質(zhì)
鍍金無氧銅
樣品臺(tái)尺寸
直徑20-50mm，可選100mm
樣品臺(tái)平整度
≤7μm
樣品臺(tái)固定方式
固定的樣品臺(tái)（可升級(jí)隨位移臺(tái)移動(dòng)）
樣品臺(tái)振動(dòng)級(jí)別
≤50納米
≤1μm（三級(jí)減震）
探針臂數(shù)量
2個(gè)、4個(gè)、6個(gè)、8個(gè)可選
探針臂機(jī)械精度
±12.5mm(可升級(jí)±25mm),精度1μm（可選）
探針種類
鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針）
探針調(diào)節(jié)
真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制
放大倍數(shù)
16~100X/20~4000X
顯微鏡行程
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm
電力需求
220V 50-60Hz
京公網(wǎng)安備 11010602006210號(hào)
